<ruby id="bbbbx"></ruby><ruby id="bbbbx"><b id="bbbbx"><progress id="bbbbx"></progress></b></ruby>

      <pre id="bbbbx"></pre>

      <ruby id="bbbbx"></ruby><p id="bbbbx"></p><del id="bbbbx"></del>
      主頁 > 新聞動態 > 行業新聞 >

      高精密蠕動泵在半導體行業的應用

      時間:2021-10-08 15:37 點擊:
      許多實驗室及輕工業制造商對高精度蠕動泵的要求非常嚴格,要保證實驗結果的準確性、數據的可靠性、生產過程的連續性和穩定性。因此,在材料傳輸、多種試劑測定和附加應用中,高精度蠕動泵傳輸精度高,穩定性好,操作容易,維護方便。
      高精度蠕動泵具有選擇流量、獲得所需流量、設置工作時間、啟動連續循環間隔、自動計算流量和運輸量等功能。當注入量達到預設量時,將自動發出聲音警報,并具有斷電數據保護功能,停止工作后再打開一次,最后設置的數據將繼續可用。
      半導體制造應始終控制工藝工具的液體流動,棘手的應用之一是化學機械平整(CMP)。CMP工具無法為拋光基板分配一致的漿速時,對產量、化學物質使用和材料完整性有很大的負面影響。晶圓厚度的變化、缺陷密度的增加、工具停機時間和晶圓廢棄物的增加只是由于過程控制不良而可能出現的一些問題。
      高精度蠕動泵非常適合半導體產業的高純度和腐蝕性化學環境。對于CMP,它提供了在拋光過程中向芯片分配點漿料所需的線性和重復性,低剪切力對CMP漿料溫和,通過變速操作,可以在大范圍的操作范圍內控制流量,保持過程的完整性。
      能實現漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動泵通過控制料漿的輸送和分布,有助于實現這些目標。高精度蠕動泵的無創設計提供了直線流動路徑,沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區域。流速達到0.5%。通過穩定的流體輸送,漿液不僅可以繼續流向拋光墊,還可以減少漿料、化學物質和去離子水的浪費。

      相關新聞

      *如果您遇到任何創銳蠕動泵產品操作或者質量問題,請及時與我們聯系。

      *保定市創銳泵業有限公司保證7 * 24小時在線。

      *創銳蠕動泵品牌產品具有一年保修和終身維護。

      *本網站的產品圖片,型號,數據,功能,性能,電機型號,規格及其他參數僅供參考。 創銳蠕動泵可以改善上述內容。 有關詳細信息,請參閱產品手冊。 除非另有說明,否則本網站包含的數據均為創銳蠕動泵內部測試結果。

      少妇高潮呻吟在线观看